Komponenty na stavbu zariadenia pre pestovanie kryštálov, pre povrstvovanie dielov, pre epi-ready finalizáciu, komponenty pre procesy, prístroje pre elektrickú charakterizáciu, a zmluvný výskum a vývoj zariadenia pre obrusovanie hrán a zariadenia pre lapovanie a kalibrovanie substrátov VGF GaP
Predmetom zákazky je obstaranie komponentov na stavbu zariadení, pre procesy, obstaranie prístrojov a obstaranie služieb výskumu a vývoja, ktoré spolu vytvárajú jednu sadu vzájomne súvisiacich častí riešenia výskumnej úlohy a to:
1) obstaranie komponentov na stavbu zariadenia pre pestovanie kryštálov a pre povrstvovanie dielov:
a) izostaticky lisovaný grafit čistoty min. 200 ppm, hmotnosť min. 60 kg pri veľkosti zrna 10 mikrometrov s merným elektrickým odporom 13 mikroOhmm, hmotnosť min. 480 kg pri veľkosti zrna 20 mikrometrov s merným elektrickým odporom 17 mikroOhmm;
b) mäkká príp. tvrdá grafitová plsť pre tepelnú izoláciu s tepelnou vodivosťou max. 0,5 W/mK a celkovom objeme min. 0,1 m³;
2) obstaranie komponentov pre pestovanie kryštálov: polykryštalické Ge o celkovej hmotnosti min. 15 kg, čistote min. 99,9999 % a merným elektrickým odporom na úrovni 40 Ohmcm;
3) obstaranie komponentov na stavbu zariadenia pre epi-ready finalizáciu substrátov VGF GaP, ktorého výsledným produktom budú vysušené substráty uložené v kazetách bez akýchkoľvek stôp po vode príp. iných tekutinách, pričom priemer substrátov môže byť v rozsahu min. 50 - 150 mm. Súčasťou dodávky bude návrh technologického postupu pre dosiahnutie epi-ready finalizácie substrátov VGF GaP;
4) obstaranie zostavy prístrojov pre elektrickú charakterizáciu substrátov VGF GaP založenú na meraní vlastností polovodičového materiálu v konštantnom magnetickom poli a na meraní merného elektrického odporu, pričom zostava bude obsahovať min. tieto prístroje:
a) prepínací prístroj pre prepínanie kontaktov vzorky podľa zvoleného technologického postupu;
b) pikoampérmeter s rozlíšením na 5,5 miesta a s citlivosťou min. 10 fA;
c) jednosmerný a striedavý prúdový zdroj s rozsahom 2 nA až 100 mA a s citlivosťou min. 100 fA;
d) nanovoltmeter s rozsahom 10 mV až 100 V s citlivosťou min. 1 nV a vstupným odporom min. 10 GOhm pre rozsahy do 10 V;
e) permanentný magnet s intenzitou min. 0,2 T pri veľkosti pólov min. 30 x 30 mm;
5) obstaranie zmluvného výskumu výskum a vývoj zariadenia pre obrusovanie hrán substrátov VGF GaP o priemere v rozsahu min. 50 - 200 mm. Súčasťou obstarania bude dodávka pracoviska spĺňajúceho uvedené požiadavky;
5) obstaranie zmluvného výskumu výskum a vývoj zariadenia pre lapovanie a kalibrovanie hrúbky substrátov VGF GaP o priemere v rozsahu min. 50 - 200 mm, pričom sa požaduje:
a) dosiahnutie plan-paralelnosti povrchov substrátu na úrovni jednotiek m;
b) samostatné ovládanie pohybu lapovania hornej plochy;
c) samostatné ovládanie pohybu lapovania dolnej plochy;
d) samostatné riadenie rýchlosti pohybu substrátu pri lapovaní;
e) a nastavenie takých rýchlostných pomerov pri lapovaní, aby sa dosiahol pohyb ľubovoľného bodu na povrchu substrátu po hypocykloidnej resp. epicykloidnej krivke. Súčasťou obstarania bude dodávka pracoviska spĺňajúceho uvedené požiadavky.
Termín
Lehota na predkladanie ponúk bola 2015-06-09.
Verejné obstarávanie bolo zverejnené na 2015-04-24.
Dodávatelia
V rozhodnutiach o udelení zákazky alebo v iných dokumentoch o verejnom obstarávaní sú uvedení títo dodávatelia:
Kto?
Čo?
Kde?
História obstarávania
Dátum |
Dokument |
2015-04-24
|
Oznámenie o vyhlásení verejného obstarávania
|
2015-11-13
|
Oznámenia o zadaní zákazky
|