Komponenty na stavbu zariadenia a zmluvný výskum pre stanovenie ľubovoľnej orientácie kryštálov VGF GaP a pre leštenie a epiready finalizáciu substrátov VGF GaP

Phostec, s.r.o.

Predmetom zákazky je obstaranie komponentov na stavbu zariadenia a obstaranie služieb výskumu a vývoja, ktoré spolu vytvárajú jednu sadu vzájomne súvisiacich častí riešenia výskumnej úlohy a to:
A) obstaranie komponentov na stavbu zariadenia pre povrstvovanie dielov: elektronika + napájacie zdroje, ktoré pozostávajú z automatického zálohovacieho napájacieho zdroja so zvýšenou redundanciou. Dodávka pozostáva z dvoch samostatných motor-generátorových jednotiek, ktoré sú plne samostatné a každá je schopná dodávať požadovaný plánovaný výkon. Vzájomne sú ale riadiacim elektrickým obvodom, ktorý je tiež súčasťou dodávky, tak zapojené, že po nábehu zdroja do činnosti beží iba jedna jednotka, a iba v prípade jej poruchy sa automaticky zapína druhá jednotka.
Minimálna požadovaná zostava a parametre:
— dodávaný výkon 2 x 60 kVA, 50 Hz, 3 fázy, 400 V,
— 2 ks naftový 4-valcový turbo-motor s objemom menším ako 5 l a spotrebou paliva menšou ako 0,26 l paliva/kWh s kvapalinovým chladením a odvodom výfukových plynov s tlmičom, vybavený elektrickým štartérom so štartovacím akumulátorom,
— 2 ks 3-fázový generátor, synchrónny bezkefový, s vlastným budením a automatickou reguláciou výstupného napätia prostredníctvom regulácie budiaceho prúdu rotora generátora,
— 2 ks oceľové rámy pre umiestnenie uvedených motor-generátorových jednotiek,
— nádrž na palivo pre minimálne 8-hodinovú prevádzku,
— riadiaca elektronika pre riadenie jednotiek a pre automatické zapínanie druhej jednotky v prípade poruchy prvej jednotky;
B) obstaranie zmluvného výskumu výskum a vývoj zariadenia pre stanovenie ľubovoľnej orientácie kryštálu VGF GaP komponentov, ktoré v sebe zahŕňa:
— vypracovanie spôsobu určenia kryštalografickej orientácie kryštálu VGF GaP, ktorá je ľubovoľná, t. j. pred meraním nie je známa ani približne, na báze difrakcie RTG žiarenia, pričom meraný materiál môže byť monokryštál v rôznom tvare ako napr. ingot, odrezok ingota, substrát, alebo polykryštál obsahujúci monokryštalické zrná rôznej veľkosti a rôznej orientácie, ktorý bude použitý napr. na výrobu zárodkov pre monokryštalický rast,
— vyvíjané zariadenie bude pozostávať minimálne z dvoch pracovísk, z ktorých prvé pracovisko bude určené pre stanovenie kryštalografickej orientácie objemového materiálu ako napr. ingota resp. časti ingota pred jeho ďalším spracovaním, a druhé pracovisko bude určené pre kontrolu kryštalografickej orientácie spracovaného materiálu VGF GaP ako napr. substrátov VGF GaP,
— prvé uvedené pracovisko bude ďalej spĺňať nasledovné požiadavky:
1) materiál VGF GaP môže byť meraný samostatne alebo spolu s držiakom, pričom váha meraného celku môže byť max. 50 kg a jeho výška max. 300 mm;
2) reprodukovateľnosť merania musí byť na úrovni 0,01° alebo lepšia;
3) doba jedného merania vrátane vyhodnotenia kratšia ako 10 s,
— druhé uvedené pracovisko bude ďalej spĺňať nasledovné požiadavky:
1) zdroj RTG žiarenia spolu s príslušnou RTG optikou musí byť voči meranej vzorke polohovateľný v rozsahu uhla dopadu -20° až +120°, a detektor spolu s príslušnou optikou musí byť voči meranej vzorke polohovateľný v rozsahu uhla odrazu -40° až +170°;
2) reprodukovateľnosť nastavenia týchto uhlov musí byť na úrovni plus/mínus 0,0001° pričom tieto uhly musia byť merané optickým dekodérom priamo na zariadení (nie sprostredkovane cez meranie pohybu motora resp. cez prevody);
3) požadovaná veľkosť vzorky je minimálne kruh o priemere 100 mm;
4) držiak vzorky musí umožňovať polohovanie vzorky v rovine XY v každej osi v rozsahu 100 mm za účelom mapovania vzorky, jej rotáciu v rozsahu plus/mínus 360° a jej náklon v rozsahu plus/mínus 90°, 5) použitá optika musí umožňovať meranie difrakcie a reflektivity vrátane hodnotenia kvality kryštalickej štruktúry v podpovrchovej oblasti ovplyvnenej defektmi mriežky;
C) obstaranie zmluvného výskumu výskum a vývoj zariadenia pre leštenie a epiready finalizáciu substrátov VGF GaP, ktorý je bližšie špecifikovaný nasledovným popisom:
— vypracovanie spôsobov leštenia a epiready finalizácie substrátov VGF GaP, ktoré sú založené na procese chemicko-mechanického leštenia jednotlivých substrátov s možnosťou stanovovania parametrov procesu pre každý substrát samostatne,
— vyvíjané zariadenie bude pozostávať minimálne z dvoch pracovísk, ktoré budú navzájom identické, a ktoré budú slúžiť pre výskum procesov pri použití rôznych chemických prostriedkov, pričom musí byť zabezpečené, aby sa tieto prostriedky nemiešali a tak nemohli vzájomne ovplyvňovať výsledky,
— každé uvedené pracovisko bude obsahovať aspoň štyri nezávislé moduly pre leštenie a finalizáciu substrátov VGF GaP o priemere min. 100 mm, pričom každý modul bude obsahovať komponenty pre nastavenie samostatných prevádzkových parametrov modulu nezávisle od iných modulov. Pre nakladanie a vykladanie leštených substrátov z jednotlivých modulov bude slúžiť inštalovaný robot, ktorý na začiatku pracovného cyklu vyberie substrát z kazety, skontroluje uchytenie substrátu na kontrolnom stanovisku, následne vloží substrát do modulu, a po vyleštení ho vyberie z modulu, opláchne od leštiacich pracovných roztokov, ofúka od prebytočnej kvapaliny, a vloží naspäť do kazety,
— modul pre leštenie a finalizáciu sa skladá z horenej upínacej hlavy, a z dolnej leštiacej hlavy. Horná hlava obsahuje v vákuové upínanie substrátu, a počas leštenia vykonáva rotačný pohyb. Dolná leštiaca hlava je vybavená rozvodnými kanálikmi leštiacej emulzie, prívodom kvapaliny pre oddelenie substrátu po ukončení leštenia, a počas leštenia vykonáva výkyvný planetárny pohyb. Rýchlosť pohybov oboch hláv je vzájomne zviazaná a s plynule regulovaným nábehom, pričom počas leštenia je možné nastaviť ich vzájomný prítlak.

Termín
Lehota na predkladanie ponúk bola 2015-01-30. Verejné obstarávanie bolo zverejnené na 2014-12-12.

Dodávatelia
V rozhodnutiach o udelení zákazky alebo v iných dokumentoch o verejnom obstarávaní sú uvedení títo dodávatelia:
Kto?

Čo?

Kde?

História obstarávania
Dátum Dokument
2014-12-12 Oznámenie o vyhlásení verejného obstarávania
2015-03-05 Oznámenia o zadaní zákazky
Súvisiace vyhľadávania 🔍