Vysokovákuové depozičné zariadenie s príslušenstvom
Zariadenie pre depozíciu má byť kompaktný vákuový systém pracujúci na princípe odparovania zdrojového materiálu (na vytvorenie elektród z kovov, aj ťažkotaviteľných). Odparovací proces musí prebiehať vo vysokom vákuu, pretože treba zabrániť vplyvu kyslíka a vodnej pary.
Zariadenie na odparovanie elektrónovým zväzkom v kombinácii s odporovým odparovačom sa skladá z vákuovej procesnej komory a príslušenstva. Procesná komora obsahuje manipulátor substrátu, elektrónové delo, dva odporové odparovače, meraciu hlavicu senzora na meranie hrúbky deponovanej vrstvy a otáčavé clony. Na depozíciu látok s nižšou teplotou odparovania sa použijú odporové odparovače a elektrónové delo s viacerými kelímkami sa použije na odparovanie ťažkotaviteľných látok. Proces depozície musí byť pripravený na in-situ meranie hrúbky naparenej vrstvy.
Termín
Lehota na predkladanie ponúk bola 2013-09-13.
Verejné obstarávanie bolo zverejnené na 2013-07-30.
Dodávatelia
V rozhodnutiach o udelení zákazky alebo v iných dokumentoch o verejnom obstarávaní sú uvedení títo dodávatelia:
Kto?
Čo?
Kde?
História obstarávania
| Dátum |
Dokument |
| 2013-07-30
|
Oznámenie o vyhlásení verejného obstarávania
|
| 2014-02-24
|
Oznámenia o zadaní zákazky
|