Technická infraštruktúra pre High Resolution diagnostiku

Slovenská technická univerzita v Bratislave – Rektorát

Zariadenie na prípravu veľkoplošných diamantových vrstiev pomocou mikrovlnnej plazmy s dvoma generátormi výkonu po 6 kW a vyhrievateľným držiakom substrátu vhodné aj pre prípravu grafénu a uhlíkových nanorúrok, teda vzoriek pre TEM. Vákuová komora z nehrdzavejúcej ocele chladená vodou, čerpaná suchými vývevami s hraničným tlakom lepším ako 1.10-4 Pa. Možnosť napúšťať kontrolovateľne 2 inertné a 8 reaktívnych plynov. Systém musí byť vybavený technologickým softvérom.
Ako podporné zariadenie generátor čistého dusíka s čistotou minimálne 99,9 % dodávajúci 9 m3/hod s kompresorom a nevyhnutnými rozvodmi.
V dodávke má byť aj axiálne-torzný elektrohydraulický pulzátor, zariadenie potrebné na meranie a získavanie cyklických materiálových kriviek na vzorkách materiálov pri podmienkach kombinovaného namáhania.
Súčasťou predmetu zákazky bude aj Augerov elektrónový spektrometer pre analýzu zloženia vzoriek a rozhraní. Zariadenie bude vybavené elektrónovým delom s katódou Schottkyho typu. Urýchľovacie napätie do 30 kV. Minimálny priemer zväzku pri 25 kV by mal byť menej ako 10 nm. Zariadenie má mať možnosť Augerovhgo mapovania povrchu z plochy do 2 x 2 cm. Energetické rozlíšenie má byť v intervale 0,05 až 0,6 %. Citlivosť pre Cu-LMM by mala presiahnuť 800 000 cps. Iónové delo pre hĺbkové profilovanie má produkovať ióny energie aspoň do 4 keV a má byť použiteľné od zhruba 10 eV. Prúd iónového zväzku by mal byť rádove A pre vyššie energie. Vyžaduje sa neutralizácia náboja počas experimentu. Životnosť katódy iónového dela by mala byť aspoň 1 rok. Podmienky analýzy je žiadúce meniť aj počas získavania hĺbkového profilu. Držiak vzorky pre vzorky priemeru aspoň 3, rotácia o 360°, naklápanie od 0° do 90°, posuv v smere Ox a Oy do 1 cm, Oz aspoň 0,5 cm. Držiak vzorky komplexne ovládaný riadiacim počítačom. Vákuový systém by mal zabezpečiť vákuum aspoň 5 x 10-8 Pa alebo lepšie. Kladie sa dôraz na rýchlu výmenu vzorky. Softvér má plniť všetky riadiace úlohy ale aj vyhodnocovanie nameraných výsledkov.
Pre analýzu obrazu, chemického zloženia nanoštruktúr a ich vzájomnej interakcie je nutný transmisný elektrónový mikroskop s katódou s energetickou šírkou lepšou ako 0,35 eV a urýchľovacím napätím minimálne 200 kV pri dosiahnutí maximálneho laterálneho rozlíšenia lepšieho ako 0,1 nm a priemerom elektrónového zväzku minimálne 0,1 nm. Zariadenie musí byť vybavené korektormi obrazu STEM a TEM. Vyžaduje sa dlhodobá stabilita elektrónového zväzku. Zariadenie musí byť vybavené EDS a EELS systémom so súčasným zberom a spracovaním dát. Na prípravu vzoriek sa vyžaduje súbor zariadení na mechanickú prípravu vzoriek, čistenie vzoriek v plazme, kryogénne rezanie vzoriek iónovým zväzkom, elektrolytické stenčovanie, možnosť naparovania kovových a uhlíkovových vrstiev na vzorky. Zariadenie musí byť plne riadené počítačom so softvérom user friendly pre riadenie jednotlivých obvodov mikroskopu, digitálnym spracovaním obrazu z jednotlivých obrazových detektorov TEM a STEM, digitálnym spracovaním dát z detektorov chemického zloženia EDS a EELS, súborom softvérových filtrov na zlepšenie obrazu a prvkového rozlíšenia.

Termín
Lehota na predkladanie ponúk bola 2013-08-14. Verejné obstarávanie bolo zverejnené na 2013-06-28.

Kto?

Čo?

Kde?

História obstarávania
Dátum Dokument
2013-06-28 Oznámenie o vyhlásení verejného obstarávania
2013-07-10 Dodatočné informácie