Naprašovacie systémy, Systémy vákuovej plazmovej implementácie a depozície – UVP – Technológie 2
Predmetom verejného obstarávania je dodávka a inštalácia:
— zariadenie pre reaktívny jednosmerný impilzový naprašovací systém s ohrevom substrátov naprašovanie kovov,
— zariadenie pre rádiofrekvenčný naprašovací systém s predpätím substrátov naprašovanie oxidov /materiálov s vysokou dielektrickou konštantou,
— zariadenie pre PIII systém(20 KV) (PIII Plasma Immersion Ion Implantation), pre rovinné substráty,
— zariadenie pre PIII systém (40 KV) (PIII Plasma Immersion Ion Implantation), pre trojrozmerné substráty spracovanie materiálov/ tvrdé povlaky.
Termín
Lehota na predkladanie ponúk bola 2013-08-21.
Verejné obstarávanie bolo zverejnené na 2013-06-28.
Dodávatelia
V rozhodnutiach o udelení zákazky alebo v iných dokumentoch o verejnom obstarávaní sú uvedení títo dodávatelia:
Kto?
Čo?
Kde?
História obstarávania
Dátum |
Dokument |
2013-06-28
|
Oznámenie o vyhlásení verejného obstarávania
|
2013-08-06
|
Dodatočné informácie
|
2013-08-29
|
Dodatočné informácie
|
2013-12-20
|
Oznámenia o zadaní zákazky
|