Nákup zariadení – píla na delenie dosiek, merací prístroj – profilometer a RTG difraktometer
Obstaranie zariadení pre mechanickú úpravu dosiek polovodičových materiálov, ich mechanickú charakterizáciu a tiež charakterizáciu ich vnútornej kryštalickej štruktúry a štruktúry nanesených vrstiev pomocou RTG difraktometrie. Predmetom zákazky je dodávka štyroch zariadení, ktoré spolu vytvárajú jednu sadu vzájomne súvisiacich prístrojov:
1) 1 ks píla na delenie ingotov na dosky ako aj na delenie samotných dosiek polovodičových materiálov. Pre delenie sa použije drôt o priemere 0,1 až 0,5 mm osadený diamantovými zrnami so zrnitosťou max. 64 m, minimálna dĺžka drôtu je 15 m, a pre jeho lepšie využitie drôt počas pílenia vždy po ubehnutí svojej dĺžky zmení smer pohybu. Požadovaný rozmer rezanej vzorky je min. 220 mm výška, 200 mm šírka, a 200 mm hĺbka. Stôl pre uchytenie rezanej vzorky musí byť vybavený T-drážkami pre montáž pomocných predmetov, a píla umožňuje samostatnú reguláciu rýchlosti pohybu drôtu minimálne v rozsahu 0 2 m/s, samostatné konštantné nastavenie ťahu drôtu, a samostatné konštantné nastavenie sily, ktorou je rezaný predmet tlačený do rezu. Píla je uspôsobená pre kvapalinové chladenie vzorky počas rezu;
2) 2 ks meracie prístroje profilometre vybavené CNC riadením pre mechanickú charakterizáciu dosiek polovodičových materiálov. Požaduje sa rozsah súvislo snímanej plochy min. 120 x 200 mm, kde prvý uvedený rozmer (označený ďalej ako os X) sa musí dosiahnuť súvislým numericky riadeným pohybom meracieho hrotu s prítlačnou silou menšou ako 1 mN, a druhý uvedený rozmer (označený ďalej ako os Y) súvislým numericky riadeným pohybom stola s nosnosťou min. 10 kg. Rozsah merania v smere kolmom na rovinu určenú osami X a Y (označený ďalej ako os Z) je min. 1 mm, pričom v závislosti na výškovom profile charakterizovaných dosiek je možné rozsah merania v osi Z prepínať nasledovne: plus/mínus 25 mikrometrov, plus/mínus 50 mikrometrov, plus/mínus 250 mikrometrov, plus/mínus 500 mikrometrov, požadované rozlíšenie je min. 1:100000, t. j. pri najmenšom rozsahu 0,5 nm. Mechanizmus pohybu meracieho hrotu obsahuje v sebe vysoko kvalitnú referenčnú rovinu s parametrom Rz<30 nm na dĺžke min. 120 mm pri rýchlosti 0,1 mm/s, v dôsledku čoho bude profil snímaný v osi X meraný ako absolútny profil voči uvedenej referenčnej rovine. Os X pohybu meracieho hrotu je možné nakláňať voči vodorovnej rovine v rozsahu min. 45°. Merací hrot musí byť v smere osi Z výškovo polohovateľný min. v rozsahu 500 mm. Pracovná doska, na ktorú sa upevňujú stôl resp. merané predmety priamo, je vyhotovená z tvrdej horniny o rozmeroch min. 500 x 700 mm, je vybavená min. troma T-drážkami, a je odpružená od okolitého prostredia pomocou sady vzduchových pružín. Z nasnímaných údajov prístroj stanoví charakteristiky povrchu profil, drsnosť, vlnitosť (po odfiltrovaní drsnosti), a tiež 2D a 3D spracovanie výsledkov vo forme protokolov a topografickej mapy. V zostave prístroja je dodaný aj etalón s certifikátom pre kontrolu a kalibráciu minimálne týchto parametrov: rovná plocha s parametrom Rz<15 nm, Rt, Ra a Rsm;
3) 1 ks RTG difraktometer pre a) charakterizáciu vnútornej kryštalickej štruktúry dosiek polovodičových materiálov, na nich nanesených vrstiev a iných tuhých látok, a tiež pre b) stanovenie parametrov skúmaných materiálov, ktoré závisia od vnútornej kryštalickej štruktúry, a to najmä stanovenie kvality kryštalickej mriežky vo vnútri materiálu a v podpovrchovej oblasti, v prípade nanesených vrstiev stanovenie ich zloženia, hustoty, hrúbky, kvality povrchu medzi vrstvami, nesúladu štruktúry vrstvy a substrátu, napätia a relaxácie vrstiev, a v prípade iných tuhých látok stanovenie ich fázového zloženia. Požaduje sa aby všetky komponenty RTG difraktometra, najmä goniometer, držiak vzorky, zdroj RTG žiarenia, optika dopadajúceho RTG lúča, optika odrazeného RTG lúča, detektory, riadiaci a vyhodnocovací software, boli produktami jedného výrobcu. Vysokonapäťový zdroj pre napájanie zdroja RTG žiarenia musí mať výkon min. 3 kW, napätie min. 60 kV, a prúd min. 60 mA. Goniometer difraktometra má 2 nezávisle ovládané ramená s polomerom väčším ako 300 mm, pričom rameno pre uchytenie optiky dopadajúceho lúča pri montáži viacerých komponentov za sebou musí byť prestaviteľné na polomer väčší ako 400 mm. Uhly obidvoch ramien musia byť merané optickým dekodérom priamo na zariadení, a nie sprostredkovane cez meranie pohybu motora resp. cez prevody. Požaduje sa minimálne tento rozsah uhlov ramien goniometra: uhol = -90° až 120°, uhol 2 = -40° až 160°. Meraná vzorka môže mať tvar kruhu s priemerom minimálne 100 mm, výškou min. 20 mm a váhou min. 0,5 kg. Držiak vzorky umožňuje jej polohovanie v rovine XY v každej osi v rozsahu min. 100 mm a v smere osi Z min. 12 mm, kde rovina XY je rovina vzorky, na ktorej sa uskutočňuje meranie, a os Z je kolmá na túto rovinu. Držiak vzorky ďalej musí umožňovať jej rotáciu minimálne v rozsahu uhla 360°, a tiež jej náklon min. v rozsahu uhla 92°. Zdroj RTG žiarenia musí umožňovať generáciu RTG žiarenia s príkonom min. 1 800 W, musí byť vybavený Cu anódou s čiarovým ohniskom o rozmere min. 0,4 x 12 mm, a musí generovať žiarenie v 2 geometrických formách ako bodový lúč a ako čiarový lúč, ktoré sa dajú prepínať bez použitia náradia. RTG optika musí umožňovať plnenie hore uvedených úloh metódami štandardnej difrakcie, reflektivity a tzv. in plane difrakcie pri využití merania máp recipročného priestoru s vysokým rozlíšením a tzv. rocking kriviek. Sú požadované 2 detektory RTG žiarenia, a súčasťou zostavy prístroja sú aj dve referenčné vzorky pre kontrolu nastavenia optických prvkov.
Termín
Lehota na predkladanie ponúk bola 2014-12-09.
Verejné obstarávanie bolo zverejnené na 2014-10-21.
Kto?
Čo?
Kde?
História obstarávania
| Dátum |
Dokument |
| 2014-10-21
|
Oznámenie o vyhlásení verejného obstarávania
|